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MEMS器件气密封装工艺规范

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  • 上传时间:2021-07-24
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  • 标      签: MEMS

资 源 简 介

MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统.
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