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集成电路加工光致抗蚀剂概念与光刻技术的介绍

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  • 上传时间:2021-07-09
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  • 标      签: 光致抗蚀剂 光刻技术

资 源 简 介

本文主要介绍集成电路加工-光刻技术与光刻胶。集成电路加工主要设备和材料:光刻设备,半导体材料:单晶硅等,掩膜,化学品:光刻胶(光致抗蚀剂),超高纯试剂,封装材料及光刻机的介绍
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