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软X射线共振反射方法表征Sc∕Si多层膜界面化合物成分的计算研究

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  • 上传时间:2023-04-27
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  • 标      签: 仪器仪表

资 源 简 介

  • 软X射线共振反射方法表征Sc∕Si多层膜界面化合物成分的计算研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:共振,表征,界面,化合物,射线
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