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基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作

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  • 上传时间:2021-10-01
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资 源 简 介

  • 基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:芯片,基于,制作,谐振,压力传感器
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