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射频磁控溅射功率对Ni-Mn-Ga薄膜成分与形貌的影响

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  • 上传时间:2021-09-30
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资 源 简 介

  • 射频磁控溅射功率对Ni-Mn-Ga薄膜成分与形貌的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:射频,薄膜,功率,成分,磁控溅射
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