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MOCVD太阳电池的测试与数据处理及其结特性参数介绍

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  • 标      签: MOCVD 太阳电池

资 源 简 介

液相外延(L PE) 和金属有机化合物气相淀积(M OCVD ) 方法是制作太阳电池材料的两种主要方法。 国内使用L PE 方法时间较长,M OCVD 方法才刚起步, 工艺不很完善, 但目前制作的M OCVD 电池的效率已很接近L PE 电池的效率。 增大M OCVD 电池外延层的厚度可以提高电池的效率, 同时还发现增大 n 型外延层的厚度能提高电池承受大电流的反向冲击的能力。 为此, 本文探讨了增大 n 型外延层的厚度对提高电池的效率所起的作用, 同时说明了电池承受大电流的反向冲击的能力随 n 型层厚度的增大而增大的原因。 2 实验方法 2. 1 样品制备 2. 1. 1 材料本 实验所用的器件样品的材料均为 n + 2GaA s (衬底)ön2GaA s (缓冲层)ön2GaA s (掺 Si)öp 2GaA s(掺 Zn)öp 2GaA lA s(掺 Zn)。 多层外延生长采用L PE 和M OCVD 两种方法。 衬底的浓度为 2&TImes;1018 cm - 3 , 晶向为(100) , 厚度为 400Λm. 缓冲层浓度为 2&TImes;1017 cm - 3 。 n2GaA s 层浓度为 2&TImes;1017 cm - 3 。 p 2GaA s 层浓度为 2&TImes;1018 cm - 3 , 厚度为 017Λm. p 2Ga0. 2A l0. 8 A s 层浓度约为 2×1018 cm - 3 。 n2GaA s 层(包括缓冲层) 及 GaA lA s 的厚度见表 1. 其中样品 M OCVD 1 和M OCVD 2 无缓冲层.
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