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一种MEMS高gn值加速度传感器的结构设计与仿真

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资 源 简 介

  • 一种MEMS高gn值加速度传感器的结构设计与仿真,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:传感器,加速度,仿真,一种,结构设计
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