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光学光刻中的离轴照明技术

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  • 上传时间:2021-07-12
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  • 标      签: 离轴照明 光学光刻

资 源 简 介

提要:本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较,并用 仿真软件进行了模拟分析。研究表明,离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术
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