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射频磁控溅射Si过渡层对自支撑金刚石膜形核面的影响

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  • 上传时间:2021-06-27
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  • 标      签: 冶金技术

资 源 简 介

  • 射频磁控溅射Si过渡层对自支撑金刚石膜形核面的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:射频,金刚石,过渡,支撑,磁控溅射
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