首页| 行业标准| 论文文档| 电子资料| 图纸模型
购买积分 购买会员 激活码充值

您现在的位置是:团子下载站 > 传感与控制 > 新型三轴电容式加速度计的设计分析

新型三轴电容式加速度计的设计分析

  • 资源大小:629 K
  • 上传时间:2021-05-02
  • 下载次数:0次
  • 浏览次数:68次
  • 资源积分:1积分
  • 标      签: 电容式 加速度计 设计分析

资 源 简 介

设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。
VIP VIP