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射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜

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  • 上传时间:2021-04-14
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  • 标      签: 建筑设计

资 源 简 介

  • 射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:射频,制备,薄膜,波导,磁控溅射
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