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衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响

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  • 上传时间:2021-04-10
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  • 标      签: 建筑设计

资 源 简 介

  • 衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,表面,磁控溅射,衬底,压强
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