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超薄α-Ta(N)/TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性

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  • 上传时间:2021-04-02
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  • 标      签: 材料论文

资 源 简 介

  • 超薄α-Ta(N)/TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:超薄,双层,阻挡,微观,扩散
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