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电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

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  • 上传时间:2021-04-01
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  • 标      签: 材料论文

资 源 简 介

  • 电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:电弧,制备,薄膜,复合,纳米
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