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分子动力学模拟不同入射角度的SiF3+对SiC表面的作用

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  • 上传时间:2021-04-01
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  • 标      签: 材料论文

资 源 简 介

  • 分子动力学模拟不同入射角度的SiF3+对SiC表面的作用,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:分子,模拟,表面,角度,动力学
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