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微波等离子化学气相沉积金刚石膜新型微波谐振腔设计

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  • 上传时间:2021-04-01
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  • 标      签: 材料论文

资 源 简 介

  • 微波等离子化学气相沉积金刚石膜新型微波谐振腔设计,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:金刚石,微波,沉积,化学,新型
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