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基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究

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  • 上传时间:2021-04-01
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  • 标      签: 仪器仪表

资 源 简 介

  • 基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:底座,基于,激励,冲击,微结构
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