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对高介电常数栅介质Nd2O3薄膜生长速率影响的分析

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资 源 简 介

  • 对高介电常数栅介质Nd2O3薄膜生长速率影响的分析,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:薄膜,介质,速率,生长,分析
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