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用热CVD法超微粒子涂覆装置制取SiC—Si3N4

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  • 上传时间:2023-07-20
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  • 标      签: 材料论文

资 源 简 介

  • 用热CVD法超微粒子涂覆装置制取SiC—Si3N4,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:装置,制取,微粒子,CVD,SiC
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