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靶材刻蚀对磁控溅射镀膜厚度分布的影响

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  • 上传时间:2023-04-27
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  • 标      签: 仪器仪表

资 源 简 介

  • 靶材刻蚀对磁控溅射镀膜厚度分布的影响,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:厚度,分布,刻蚀,磁控溅射,镀膜
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