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基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺

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资 源 简 介

  • 基于BCB键合的MEMS加速度计圆片级封装工艺,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:封装,基于,工艺,加速度计,BCB
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