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多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构

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资 源 简 介

  • 多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:超薄,加速度,纳米,敏感,多晶
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