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不同厚度PZT薄膜的制备及电性能特性研究

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资 源 简 介

  • 不同厚度PZT薄膜的制备及电性能特性研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:制备,薄膜,厚度,特性,性能
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