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一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器

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资 源 简 介

  • 一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:电容,电极,传感器,湿度,工艺
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