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薄膜技术_王力衡 1991

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  • 标      签: 材料工程 薄膜 半导体

资 源 简 介

薄膜是一种物质形态,清华田民波在《材料学概论》一书的第十三讲,说的就是薄膜技术及薄膜制备技术。成膜技术及薄膜产品在工业上,特别是电子工业邻域有及其重要的地位,在半导体集成电路、电阻器、电容器、激光器、磁带等都用薄膜技术。这本就是专门介绍成膜技术及薄膜的电、光学、机械、磁性性能的一本教程。理论严谨,对于研究材料工程方向的同学很有帮助。
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