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光刻光束线快门实验系统及其快速光电转换

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  • 上传时间:2021-11-09
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  • 标      签: 光电转换

资 源 简 介

本文阐述了光刻光束线中的快门光栅系统的基本结构和工作原理. 井介绍了光电转换中的一种新方怯—高阻甚,该方法在快速弱光信号的检测中具有实际意义。光刻光束线的基本原理,是从加速器贮存环中的一个窗口引出同步幅射光子流, 取其软X射线部分作为大豌集成电路的光刻光源, 这就要求;2.1.具备快门控期系统, 用于控捌爆光时间。2.2.具备镜扫描功能, 以便将光柬线作均匀展宽, 取而实现较大面积的均匀光刻。
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